دوشنبه / ۴ اسفند / ۱۴۰۴ - 23 February, 2026
 سایت انرژی پرس / ۱۴۰۴/۰۹/۰۲

رونمایی چین از یک منبع فشرده لیتوگرافی فرابنفشِ شدید

 رونمایی چین از یک منبع فشرده لیتوگرافی فرابنفشِ شدید
به گزارش انرژی پرس، محققان چینی ادعا می‌کنند که یک منبع نور جدید لیتوگرافی فرابنفش شدید (EUV) را در اندازه رومیزی برای تولید ریزتراشه‌های ۱۴ نانومتری توسعه