اقدام مهم روسیه برای تولید دستگاههای تولید تراشه برتر، سریعتر و ارزانتر از محصولات ASML
روسیه قصد دارد ابزارهای لیتوگرافی EUV با طول موج ۱۱.۲ نانومتر تولید کند که ارزانتر و سادهتر از سیستمهای ASML باشد. بررسی نقشه راه جدید روسیه برای تولید تراشههای پیشرفته.