طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری

حسگرهای شار گاز با استفاده از تکنیک لایه های نازک ساخته شده اند. این حسگر از نوع گرمایی بوده و براساس اختلاف دمای ناشی از عبور جریان هوا از روی یک گرمکن الکتریکی کار می کند. عنصر حساس به دما در این حسگر، دو سری آرایه ترموکوپلی متشکل از بازوهایی از جنس نیکل و کرم است. این حسگر می تواند جریان های هوا در حدود ۱۰ sccm تا ۱۰۰۰۰ sccm را اندازه گیری نماید و به راحتی امکان تولید انبوه آن وجود دارد. طراحی و ساخت ماسک، لایه نشانی های مختلف و لیتوگرافی این لایه ها با موفقیت انجام شده است، ریزماشینکاری بر روی شیشه جهت ساخت غشا شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج به دست آمده از آزمایش های انجام شده بر روی این حسگرها نشان می دهد که رفتار حسگر تا ۱۰۰۰ sccm کاملا خطی است که قابل توجه می باشد. در ادامه، طرحی جدید در ساختار هندسی این افزاره که می تواند حساسیت افزاره را افزایش دهد، ارایه می شود.

مرتضی مظفری
عزت اله ارضی
سیدشمس الدین مهاجرزاده

منبع : آتیه