سه شنبه, ۱ خرداد, ۱۴۰۳ / 21 May, 2024
مجله ویستا
طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری
حسگرهای شار گاز با استفاده از تکنیک لایه های نازک ساخته شده اند. این حسگر از نوع گرمایی بوده و براساس اختلاف دمای ناشی از عبور جریان هوا از روی یک گرمکن الکتریکی کار می کند. عنصر حساس به دما در این حسگر، دو سری آرایه ترموکوپلی متشکل از بازوهایی از جنس نیکل و کرم است. این حسگر می تواند جریان های هوا در حدود ۱۰ sccm تا ۱۰۰۰۰ sccm را اندازه گیری نماید و به راحتی امکان تولید انبوه آن وجود دارد. طراحی و ساخت ماسک، لایه نشانی های مختلف و لیتوگرافی این لایه ها با موفقیت انجام شده است، ریزماشینکاری بر روی شیشه جهت ساخت غشا شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج به دست آمده از آزمایش های انجام شده بر روی این حسگرها نشان می دهد که رفتار حسگر تا ۱۰۰۰ sccm کاملا خطی است که قابل توجه می باشد. در ادامه، طرحی جدید در ساختار هندسی این افزاره که می تواند حساسیت افزاره را افزایش دهد، ارایه می شود.
مرتضی مظفری
عزت اله ارضی
سیدشمس الدین مهاجرزاده
عزت اله ارضی
سیدشمس الدین مهاجرزاده
منبع : پایگاه اطلاعات علمی
نمایندگی زیمنس ایران فروش PLC S71200/300/400/1500 | درایو …
دریافت خدمات پرستاری در منزل
پیچ و مهره پارس سهند
تعمیر جک پارکینگ
خرید بلیط هواپیما
سید ابراهیم رئیسی رئیس جمهور ایران سیدابراهیم رئیسی سقوط بالگرد رئیسی شهادت سقوط بالگرد بالگرد حسین امیرعبداللهیان دولت سیزدهم شهادت رئیسی شهادت سید ابراهیم رئیسی
کنکور تهران هواشناسی پلیس هلال احمر سیل قوه قضاییه سیل مشهد آموزش و پرورش بارش باران
شهادت رئیس جمهور پیام تسلیت یارانه بورس قیمت خودرو قیمت دلار خودرو دلار قیمت طلا حقوق بازنشستگان بازار خودرو ایران خودرو
آیت الله سید ابراهیم رئیسی تلویزیون سینما سینمای ایران لیلا حاتمی هنرمندان زری خوشکام نمایشگاه کتاب رسانه ملی
قرآن تجهیزات پزشکی
آمریکا اسرائیل رژیم صهیونیستی روسیه ترکیه لبنان غزه فلسطین جنگ غزه حماس چین اوکراین
فوتبال پرسپولیس استقلال رییس جمهور لیگ برتر لیگ برتر ایران لیگ برتر انگلیس فدراسیون فوتبال باشگاه پرسپولیس بازی تراکتور منچسترسیتی
هوش مصنوعی سامسونگ تبلیغات اپل موبایل نمایشگاه ایران هلث اینترنت هواپیما
مردان رژیم غذایی خواب آلزایمر استرس کاهش وزن افسردگی