طراحی یک شتاب سنج خازنی MEMS

طراحی یک شتاب سنج خازنی بر مبنای فناوری میکروماشینکاری در این مقاله ارایه گردیده است. از میان انواع مبدلها در این مقیاس از نوع خازنی ان استفاده شده است. این طراحی شامل مدار رابط نمی باشد و به طراحی مکانیکی شتاب سنج محدود شده است.طراحی بر مبنای محدودیتهای آبعادی در روش ساخت MUMPs که یک روش ماشینکاری سطحی پلی سیلیکان است، صورت گرفته است. پارامترهای حسگر برای رسیدن به مشخصات شتاب سنج برای کاربرد در خودرو بدست امده است. برای رسیدن به پهنای باند مورد نیاز و افزایش پایداری سیستم از مدار بازخورد (معادل ضریب فنر منفی) استفاده شده است. سختی فنر تعلیق جرم محک به روش تحلیلی بدست امده و صحت این رابطه با شبیه سازی آلمان محدود ارزیابی شده است. پارامترهای عملکردی دیگر چون میزان تحمل شوک و حساسیت عرضی که روابط تحلیلی دقیق انها پیچیده است با شبیه سازی آلمان محدود بدست امده اند.

محمدمحجوب جهرمی
علی ابوالقاسمی آزاد

منبع : پایگاه اطلاعات علمی