چهارشنبه, ۹ خرداد, ۱۴۰۳ / 29 May, 2024
مجله ویستا
باریکه یونی متمرکز (FIB)
باریکه یونی متمرکز (FIB)
سیستمهای باریکه یونی متمرکز به صورت تجاری در حدود ۱۰ سال است که تولید میشوند. در ابتدا کاربرد آنها فقط در صنعت نیمههادی بوده است. این دستگاه بیشتر شبیه دستگاه میکروسکوپی الکترونی روبشی عمل میکند با این تفاوت که در دستگاههای FIB به جای اشعه الکترونی از اشعه یونهای گالیم استفاده میشود.دستگاه FIB در جریانهای پایین اشعه یونهای گالیم برای تصویربرداری و در جریانهای بالای یونهای گالیم برای اهداف بخصوصی مانند ماشینکاری و یا پاشش اتمی استفاده میشود. همانطور که در شکل (۱) مشاهده میشود اشعه یونهای Ga به سطح نمونه برخورد میکند و مقداری از اتمهای سطحی را به صورت یونهای مثبت یا منفی و یا به صورت اتمهای خنثی از سطح خارج میکند. همچنین از برخورد اشعه یونهای گالیم با سطح الکترونهای ثانویه تولید میشود.از سیگنالهای ناشی از یونهای خارج شده از سطح و یا الکترونهای ثانویه برای تصویر برداری استفاده میشود. در جریانهای پایین مقدار کمی از ماده از سطح خارج و کنده میشود. بنابراین میتوان تصاویری با قدرت تفکیک چند نانومتر بدست آورد. در جریانهای بالاتر نیز مقدار زیادی از سطح کنده میشود و میتوان برای ماشینکاری مواد در مقیاس زیر میکرومتر استفاده کرد.در نمونههای نارسانا از یک تفنگ الکترونی کم انرژی برای خنثیسازی استفاده میشود. در این حالت همچنین میتوان نمونههای نارسانا را بدون پوششدهی و رسانا کردن تصویربرداری و یا ماشینکاری کرد.قابل ذکر است که در دستگاه های SEM پوششدهی نمونههای نارسانا برای تصویربرداری مورد نیاز میباشد. علاوه بر اشعه یونی اولیه، میتوان از اشعه یونهای دیگر نیز بر روی نمونه استفاده کرد. این گازها میتوانند با اشعه گالیم اولیه واکنش داده و به عنوان اچ کننده انتخابی سطح به کار روند و یا برای رسوبدهی مواد رسانا و یا نارسانا توسط اشعه یونهای اولیه به کار روند.تا به امروز بیشترین کاربرد دستگاه FIB در صنعت نیمههادی بوده است. برخی از این کاربردها عبارتند از : آنالیز عیوب، بهسازی مدار، تعمیر ماسکها و آماده سازی نمونههای TEM.امروزه FIBها قدرت تفکیک بالایی دارند و میتوان از آنها برای ماشینکاری نمونهها به صورت درجا استفاده کرده و همچنین در حین ماشینکاری از نمونه تصویربرداری کرد. علاوه بر کاربردهای FIB در نیمههادیها این دستگاه در علم مواد نیز کاربردهای بسیار زیادی دارد. از قبیل اندازهگیری رشد ترک، تغییر فرم کامپوزیتهای زمینه فلزی، چسبندگی پوششهای پلیمری و غیره
قابلیتهای دستگاه FIB در نیمههادیها و مهندسی مواد: [۲]
۱- اچ کردن به کمک گازهای XeF و XeCl
۲- رسوبدهی فلزات
۳- ماشینکاری مواد تا قدرت تفکیک چند ده نانومتر
۴- تصویرگیری از سطوح با استفاده از الکترونها و یونهای ثانویه( این تصاویر میتوانند با تصاویر SEM رقابت داشته باشند).
۵- تصویرگیری از کنتراست دانهها بدون اچ کردن ماده
۶- بررسی وضعیت شیمیایی سطوح به خصوص در مطالعات خوردگی
۷-مقطع زنی و تصویر برداری از سطوح
مراجع:
۱- http://www.fibics.com
۲- http://www.iisb.fraunhofer.de
نمایندگی زیمنس ایران فروش PLC S71200/300/400/1500 | درایو …
پیچ و مهره پارس سهند
تعمیر جک پارکینگ
خرید بلیط هواپیما
دورههای مدیریتی دانشگاه تهران
انتخابات ریاست جمهوری انتخابات سید ابراهیم رئیسی مجلس دوازدهم مجلس شورای اسلامی مجلس رئیس جمهور سیدابراهیم رئیسی انتخابات ریاست جمهوری 1403 رئیسی ریاست جمهوری دولت
تهران قتل سلامت هواشناسی قوه قضاییه شهرداری تهران پلیس سرقت سازمان هواشناسی فضای مجازی وزارت بهداشت افزایش حقوق بازنشستگان
خودرو دولت سیزدهم بازار سرمایه قیمت دلار قیمت خودرو بازار خودرو حقوق بازنشستگان قیمت طلا ایران خودرو بورس مسکن تورم
جهان سینمای ایران تلویزیون سریال سینما بازیگر رسانه ملی موسیقی تئاتر کتاب
دانشگاه تهران دانشگاه آزاد اسلامی وزارت علوم دانش بنیان
اسرائیل فلسطین رژیم صهیونیستی غزه جنگ غزه روسیه آمریکا حماس نوار غزه ترکیه چین طوفان الاقصی
پرسپولیس استقلال فوتبال لیگ برتر شمس آذر قزوین لیگ برتر فوتبال ایران لیگ برتر ایران باشگاه پرسپولیس جواد نکونام باشگاه استقلال بازی مهدی طارمی
هوش مصنوعی تبلیغات خودروهای وارداتی اپل سامسونگ ایلان ماسک ماهواره بنیاد ملی نخبگان گوگل تسلا
رژیم غذایی مغز طب سنتی افسردگی کاهش وزن استرس سازمان غذا و دارو تجهیزات پزشکی قهوه